ResearchPublications
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Categories Konferenz
Year 2017
Authors Klaas D, Pehrs F, Wurz MC
Published In Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683
ISBN 978-3-8007-4491-6
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