ResearchPublications
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Categories Verschiedenes
Year 2021
Authors L. Steinhoff
Published In phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021
Description

Ein Informationstext über die Entwicklung eines Beschichtungsverfahrens für Aluminiumnitrid als Dünnfilm und deren möglichen Einsatzbereiche.