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Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

Categories Konferenz
Year 2021
Authors M. Arndt, M.C. Wurz, F. Dencker, Y. Long, J. Twiefel
Published In MikroSystemTechnik Kongress 2021
Description

Am Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) wird ein neuartiges 4x3 Kraftsensorarray für die In-situ-Untersuchungen des Ultraschall(US)-Drahtbondprozesses entwickelt. Das Array basiert auf der piezoelektrischen Keramik Bleizirkonat- Titanat (PZT), die zunächst mittels Trennschleifen in einzelne Sensorsäulen unterteilt und anschließend mit einem Polymer verfüllt wird. Mit Hilfe des so entstehenden Sensorsystems sollen zukünftig die lokalen Tangentialkräfte, die sich während des Bondprozesses an der Kontaktstelle zwischen Draht und Substrat einstellen, gemessen werden.