ResearchPublications
Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen

Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen

Categories Konferenz
Year 2021
Authors M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz
Published In MikroSystemTechnik Kongress 2021