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Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Categories Konferenz
Year 2021
Authors R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz
Published In NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium