Tribologie von MEMS-Komponenten

Categories Beiträge in Büchern
Year 2005
Authors R. Bandorf, R. Küster, C. Henke, H. Lüthje, J.-H. Sick, C. Neumeister, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer
Published in SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Deutschland, S. 225-232, ISBN3-86130-999-8