Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2017 |
| Authors | Beringer S, Dinulovic D, Bengsch S, Haug M, Wurz MC |
| Published in | MikroSystemTechnik Kongress 2017 · 23. – 25. Oktober 2017 in München (Seite 624-627) |
| ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
