Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
Categories |
Konferenz |
Year | 2017 |
Authors | Pyatishev E, Wurz MC, Enns Y, Glukhovskoy A, Fischer EC, Odintsov A, Kleimanov R |
Published in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München |
ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
More info |