Institute of Micro Production Technology Research Publications
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern

Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern

Categories Konferenz
Year 2021
Authors S. de Wall, A. Kassner, C. Künzler, F. Dencker, L. Diekmann, M.C. Wurz
Published in MikroSystemTechnik Kongress