Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2021 |
| Authors | S. de Wall, A. Kassner, C. Künzler, F. Dencker, L. Diekmann, M.C. Wurz |
| Published in | MikroSystemTechnik Kongress |
