Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2017 |
| Authors | Klaas D, Pehrs F, Wurz MC |
| Published in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683 |
| ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
| More info | |
