Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2021 |
| Authors | M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz |
| Published in | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |
