Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat
| Categories |
Konferenz (reviewed) |
| Year | 2013 |
| Authors | M. Kaiser, E. Delaygina, G. Steinhoff, L .Rissing |
| Published in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 496-499 |
| ISBN | 978-3-8007-3555-6 |
