Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
| Categories |
Verschiedenes |
| Year | 2021 |
| Authors | L. Steinhoff |
| Published in | phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021 |
Description
Ein Informationstext über die Entwicklung eines Beschichtungsverfahrens für Aluminiumnitrid als Dünnfilm und deren möglichen Einsatzbereiche.
