Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage
| Categories |
Konferenz |
| Year | 2021 |
| Authors | R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz |
| Published in | NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium |
