StudiumLehrveranstaltungen
Mikro- und Nanotechnologie

Mikro- und Nanotechnologie

Art der Veranstaltung
Vorlesung / Übung
Niveaustufe

Grundstudium / Bachelor

Hauptstudium / Master

SemesterWintersemester
Creditpoints5 CP

ZIEL DER LEHRVERANSTALTUNG

Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und Anlagen, die der Herstellung von Mikrobauteilen in Dünnfilmtechnik dienen. Dabei stehen Technologien zur Fabrikation dieser Bauteile in einem als „Frontend Prozess“ bezeichneten Waferprozess im Mittelpunkt. Die Herstellung der Mikrobauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken in Verbindung mit Photolithographie.

INHALT DER LEHRVERANSTALTUNG

  • Grundlagen der Vakuumtechnik
  • Beschichtungstechnik
    • Physikalische (Physical Vapor Deposition - PVD) und
      chemische (Chemical Vapor Deposition - CVD) Abscheidung von Filmen aus der
      Gasphase
    • Galvanische Verfahren
  • Dotierung und Oberflächenumwandlung
  • Ätztechnik
    • Nasschemisches Ätzen
    • Physikalisches, physikalisch-chemisches und chemisches Trockenätzen
  • Fotolithografische Verfahren zur Strukturdefinition
  • Fertigung im Reinraum
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