StudiumLehrveranstaltungen
Mikro- und Nanosysteme

Mikro- und Nanosysteme

Art der Veranstaltung
Vorlesung / Übung
Niveaustufe

Hauptstudium / Master

SemesterSommersemester
Creditpoints5 CP

ZIEL DER LEHRVERANSTALTUNG

Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über die wichtigsten Anwendungsbereiche der Mikrotechnik. Ein mikrotechnisches System hat die Komponenten Mikrosensorik, Mikroaktorik und Mikroelektronik. Vermittelt werden Wirkprinzip und Aufbau der Mikrobauteile sowie Anforderungen der Systemintegration.

INHALT DER LEHRVERANSTALTUNG

  • Funktionsprinzipien der Mikrosensorik und -aktorik
  • Grundlagen der Mikrotribologie
  • Einführung in die Halbleitertechnik
  • Anwendungen der Mikrosystemtechnik in den Feldern
    • Daten- und Informationstechnik
    • Telekommunikation
    • Automobiltechnik
    • Luft- und Raumfahrttechnik
    • Industrieautomatisierung und Biomedizintechnik
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