Publikationen

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DOI: https://doi.org/10.3390/mi14030580 doi.org/10.3390/mi14030580

L. Steinhoff, F. Dencker, M. Wurz (2023): Application of batch manufactured flexible micro-grinding tools on copper and oxidized copper surfaces,  Tribologie und Schmierungstechnik
DOI: 10.24053/TuS-2023-0002

L. Steinhoff, R. Ottermann, F. Dencker, M. C. Wurz (2023): Detailed characterisation of batch-manufactured flexible micro-grinding tools for electrochemical assisted grinding of copper surfaces,  The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
DOI: https://doi.org/10.1007/s00170-023-11876-2

S. Raumel, K. Barienti, T. Hoang, N. Merkert, F. Dencker, F. Nürnberger, H. Maier, M. Wurz (2023): Characterization of the tribologically relevant cover layers formed on copper in oxygen and oxygen-free conditions,  Friction
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-022-0695-5

L. Diekmann, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz (2022): Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina,  Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI: 10.1116/6.0001991

M. Arndt, F. Dencker, M. Wurz, Y. Long, J. Twiefel (2022): Detection of joining mechanisms at different locations of the wire/substrate interface during ultrasonic wire bonding via a PZT-based sensor array,  Journal of Materials Processing Technology
DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2022.117826

M. Rodriguez Diaz; S. Raumel; M. C. Wurz; M. Szafarska; R. Gustus; K. Möhwald; H. J. Maier (2022): Young’s modulus and residual stresses of oxide-free wire arc sprayed copper coatings,  Coatings 2022, 12(10), 1482
DOI: https://doi.org/10.3390/coatings12101482

O. Melchert, F. Dencker, M. Wurz, A. Demircan, U. Morgner, M. Kues (2022): Soliton compression and supercontinuum spectra in nonlinear diamond photonics,  Diamond & Related Materials
DOI: https://doi.org/10.48550/arXiv.2211.00492

R. Ottermann; T. Steppeler; F. Dencker; M. Wurz (2022): Degeneration Effects of Thin-Film Sensors after Critical Load Conditions of Machine Components,  Machines 2022, 10, 870
DOI: https://doi.org/10.3390/machines10100870

S. Heikebrügge, R. Ottermann, B. Breidenstein, M. Wurz, F. Dencker (2022): Residual Stresses from Incremental Hole Drilling Using Directly Deposited Thin Film Strain Gauges,  Experimental Mechanics
DOI: https://doi.org/10.1007/s11340-022-00822-0

S. Raumel, F. Dencker, M. Wurz, T. L. Hoang, N. Merkert (2022): Nanoindentation in alumina coated Al: Molecular dynamics simulations and experiments,  Surface and Coatings Technology
DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128342

S. Raumel, K. Barienti, H.-T. Luu, N. Merkert, F. Dencker, F. Nürnberger, H.-J. Maier, M. C. Wurz (2022): Characterization of the tribologically relevant cover layers formed on copper in oxygen and oxygen-free conditions,  Friction
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-022-0695-5

T. Herrmann, A. K. Schierz, M. S. Prediger, J. Reifenrath, J. Meißner, M. Wurz, P. Behrens (2022): Effect of the PEG functionalization on the saturation magnetization of magnetic nanoporous core-shell nanoparticles,  International Journal on Magnetic Particle Imaging
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Y. Long, M. Arndt, F. Dencker, M. Wurz, J. Twiefel, J. Wallaschek (2022): Impact of surface texture on ultrasonic wire bonding process,  Journal of Materials Research and Technology, Volume 20, 1828-1838
DOI: 10.1016/j.jmrt.2022.07.187

J. Twiefel, A. Glukhosvkoy, S. de Wall, M. Wurz, M. Sehlmeyer, M. Hitzemann, S. Zimmermann (2021): Towards a Highly Sensitive Piezoelectric Nano-Mass Detection—A Model-Based Concept Study,  MDPI Sensors
DOI: 10.3390/s21072533

S. Raumel, K. Barienti, F. Dencker, M. C. Wurz (2021): Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf die tribologischen Eigenschaften,  Tribologie und Schmierungstechnik
DOI: DOI: 10.24053/TuS-2021-0002

Klaas D, Ottermann R, Dencker F, Wurz MC (2020): Development, Characterisation and High-Temperature Suitability of Thin-Film Strain Gauges Directly Deposited with a New Sputter Coating System,  MDPI Sensors
DOI: 10.3390/s20113294

Christ M, Kassner A, Smol R, Bawamia A, Heine H, Herr W, Peters A, Wurz MC, Rasel EM, Wicht A, Krutzik M (2019): Integrated atomic quantum technologies in demanding environments: development and qualification of miniaturized optical setups and integration technologies for UHV and space operation,  CEAS Space Journal
DOI: 10.1007/s12567-019-00252-0

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Mishin M, Vorobyev A, Kondrateva A, Koroleva E, Karaseov P, Bespalova P, Shakhmin A, Glukhovskoy A, Wurz MC, Filimonov A (2018): The Mechanism of Charge Carrier Generation at the ТiO2 - n-Si Heterojunction Activated by Gold Nanoparticles,  Semiconductor Science and Technology, Vol 37(7)
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Dinulovic D, Shousha M, Haug M, Beringer S, Wurz MC (2017): Comparative Study of Microfabricated Inductors/Transformers for High-Frequency Power Applications,  IEEE Transactions on Magnetics (Volume: 53, Issue: 11, Nov. 2017) Weitere Informationen
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van Drunen WJ, Mueller M, Glukhovskoy A, Salcher R, Wurz MC, Lenarz T, Maier H (2017): Feasibility of Round Window Stimulation by a Novel Electromagnetic Microactuator,  BioMed Research International, Vol 2017
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DOI: 10.1007/s00542-015-2792-0

M. Akin, M. Rezem, M. Rahlves, K. Cromwell, B. Roth, E. Reithmeier, M. Wurz, L. Rissing, H.-J. Maier (2016): Direct hot embossing of micro-elements by means of photostructurable polyimide,  Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3)

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DOI: https://doi.org/10.1080/14686996.2016.1246940

L. Jogschies, D. Klaas, R. Kruppe, J. Rittinger, P. Taptimthong, A. Wienecke, L. Rissing, M. C. Wurz (2015): Recent Developments of Magnetoresistive Sensors for Industrial Applications,  Sensors, 15(11), 28665-28689

M. Wurz (2015): Research Activities in the Field of Electromagnetic Energy Harvesting Micro Systems,  ECS Trans 64 21
DOI: https://doi.org/10.1149/06431.0021ecst

D. Dinulovic, M. Kaiser, A. Gerfer, O. Opitz, M.C. Wurz, L. Rissing (2014): Microtransformer with Closed Fe-Co Magnetic Core for High Frequency Power Applications,  Journal of Applied Physics 115, 17A317
DOI: 10.1063/1.4863930

D. Dinulovic, M. Kaiser, A. Gerfer, O. Opitz, M.C. Wurz, L. Rissing (2014): Thin-film Microtransformer for High Frequency Power Applications,  AIP Journal of Applied Physics 115, 17A317
DOI: 10.1063/1.4863930

T. Griesbach, M. Wurz, L. Rissing (2012): Development, fabrication, and test of a modular eddy current micro sensor on a flexible polymer foil,  Product Engineering Research and Development
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E. Asadi, A. Bouabid, M. C. Wurz, T. Grove, Be. Denkena, L. Rissing (2015): Neuartige Herangehensweise für eine Batchproduktion keramischer Mikrofräswerkzeuge.,  Diamond Business – Ausgabe 3.2015, S. 12-16, 2015

Wurz, M. C., Ruffert, C., Rissing, L. (2011): Lehrbuch Mikrotechnologie : für Ausbildung, Studium und Weiterbildung (Kapitel 12: Ätzprozesse),  Fachbuchverlag Leipzig im Carl-Hanser-Verlag, München
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DOI: 10.1109/IVNC57695.2023.10188880

B. Denkena, H. Klemme, D. Kowalke, M. Korbacher, R. Ottermann, F. Dencker, M. C. Wurz (2023): Force sensing linear rolling guides based on modified metal strain gauges,  Euspen 23rd International Conference & Exhibition
DOI: 10.1109/ECTC51909.2023.00118

O. Altun, P. Oladazimi, M. Wawer, S. Raumel, M. C. Wurz, K. Barienti, F. Nürnberger, R. Lachmayer, I. Mozgova, O. Koepler, S. Auer (2023): Enhanced findability and reusability of Engineering Data by Contextual Metadata,  24th International Conference on Engineering Design, ICED23 Bordeaux, France, July 2023

O. Altun, P. Oladazimi, M.L. Wawer, S. Raumel, M. Wurz, K. Barienti, F. Nürnberger, R. Lachmayer, I. Mozogova, O. Koepler, S. Auer (2023): Enhanced findability and reusability of engineering data by contextual metadata,  Proceedings of the Design Society , Volume 3: ICED23 , July 2023 , pp. 1635 - 1644
DOI: https://doi.org/10.1017/pds.2023.164

S. Hadeler, Y. Long, R. Ottermann, F. Dencker, J. Twiefel, M. C. Wurz (2023): Influence of Microscale Tin Particles on Mechanical Properties of Silver Sintering Joints with Reduced Processing Parameters,  2023 IEEE 73nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
DOI: 10.1109/ECTC51909.2023.00118

S. Kamrani, F. Dencker, R. Ottermann, M. C. Wurz (2023): Simulation, Manufacturing and Evaluation of a Transformer Eddy-Current Sensor for Deep-Drawing Processes,  SMSI Sensor and Measurement Science International, 08.-11.05.2023 Nürnberg
DOI: 10.5162/SMSI2023/P02

S. Raumel, L. Albracht, U. Holländer, S. Hübner, B.-A. Behrens, A. Langohr, E. Faramand, M. Wurz (2023): Oxygen-free resistance heating with nitrogen and silane as an energy-efficient heating process for hot stamping,  42nd International Deep Drawing Research Group Conference
DOI: 10.1088/1757-899X/1284/1/012007

A. M. Zawacka, M. S. Prediger, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz (2022): Approaches for a Solely Electroless Metallization of Through-Glass Vias,  2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
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L. Steinhoff, F. Dencker, M. C. Wurz (2022): Production and characterisation of batch manufactured flexible micro-grinding tools for finishing metallic surfaces,  euspen's 22nd International Conference & Exhibition 2022

M. Arndt, T. Fünfkirchler, S. Hübner, F. Dencker, M. C. Wurz, B.-A. Behrens (2022): Monitoring of the flange draw-in during deep drawing processes using a thin-film inductive sensor,  12. Kongress der deutschen WPG - Wissenschaftliche Gesellschaft für Produktionstechnik, Stuttgart, Germany, October 2022
DOI: 10.1007/978-3-031-18318-8_12

R. Ottermann, S. Zhang, B. Denkena, H. Klemme, D. Kowalke, M. Korbacher, F. Dencker, M. Wurz (2022): In Situ Resistance Trimming of Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges,  IEEE Sensors 2022
DOI: 10.1109/SENSORS52175.2022.9967357

S. Raumel, F. Dencker, M. C. Wurz (2022): Influence of oxide layers on plastic deformability of copper,  7th World Tribology Congress 2022

S. Raumel, M. Wurz, F. Dencker (2022): Batch Fabrication of Silicon Indenter Tips for adhesion investigations using Deep Reactive Ion Etching (DRIE),  Nanobrücken 2022 - Nanomechanical Testing Conference

A. Glukhovskoy, M. Prediger, J. Schäfer, N. Ambrosius, A. Vogt, R. Santos, R. Ostholt, M. C. Wurz (2021): Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor,  2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
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R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, D. Hoheisel, S. Jung, A. Wienke, J. Düsing, J. Koch, M.C. Wurz (2021): Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges on Curved Metallic Surfaces,  IEEE Sensors 2021

S. de Wall, E.C. Fischer, F. Dencker, M.C. Wurz, S. Bengsch (2021): Anisotropic Magneto-Resistive Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate,  IEEE Sensors 2021

S. Hadeler, R. Ottermann, Y. Long, F. Dencker, M.C. Wurz, J. Twiefel (2021): Investigations on Silver Sintering using an Ultrasonic Transient Liquid Phase Sintering Process,  IEEE Electronics Packaging Technology Conference (EPTC)

Arndt M, Dencker F, Wurz MC (2020): Novel Piezoelectric Force Sensor Array for Investigation of Ultrasonic Wire Bonding,  IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
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R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, D. Hoheisel, P. Rottengatter, T. Kruspe, M.C. Wurz (2020): Direct Deposition of Thin-Film Strain Gauges with a New Coating System for Elevated Temperatures,  IEEE Sensors 2020
DOI: 10.1109/SENSORS47125.2020.9278661

Raumel S, Barienti K, Dencker F, Wurz MC (2020): Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf die tribologischen Eigenschaften von Titan,  61. Tribologie-Fachtagung 2020

S. Bengsch, E. C. Fischer, S. de Wall, T. Schelm, M. Arndt, M. C. Wurz (2020): Optical Platform for Highly Precise Optical Components,  IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
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S. de Wall, A. Kassner, F. Dencker, C. Künzler, H. Heine, W. Herr, M. Christ, M. Krutzik, E. M. Rasel, M. C. Wurz (2020): Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern,  Mikro-Nano-Integration - 8. GMM-Workshop, 2020

S. Hadeler, S. Bengsch, M. Prediger, M. C. Wurz (2020): Transfer Printing of Conductive Thin Films on PDMS with Soluble Substrates for Flexible Biosensors,  7th International Electronic Conference on Sensors and Applications (ECSA)
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Arndt M, Dencker F, Wurz MC (2019): Novel Eddy-Current Sensor For Industrial Deep-Drawing Applications,  IEEE Sensors 2019
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Christ M, Kassner A, Smol R, Bawamia A, Peters A, Wurz MC, Rasel EM, Wicht A and Krutzik M (2018): Integrated Atomic Quantum Technologies in Demanding Environments: Development and Qualification of Miniaturized Optical Setups and Integration Technologies for UHV and Space Operation,  International Conference on Space Optics 2018, ICSO 2018

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Schlangen S, Bremer K, Zheng Y, Isaak A, Wurz MC (2018): Manufacturing and characterization of asymmetric evanescent field polished fiber couplers for fiber grating assisted mode selective coupling,  SPIE Photonics Europe Weitere Informationen
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Long Y, Dencker F, Schneider F, Emde B, Li C, Hermsdorf J, Wurz MC, Twiefel J (2017): Investigations on the oxide removal mechanism during ultrasonic wedge-wedge bonding process,  Proceedings of the 2016 IEEE 18th Electronics Packaging Technology Conference, EPTC 2016
DOI: 10.1109/EPTC.2016.7861512
ISBN: 978-150904368-2

Pyatishev E, Enns Y, Komarevtsev I, Glukhovskoy A, Wurz MC (2017): A micromechanical gyroscope with bistable suspension of microdrive,  Proceedings of 24th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems (ICINS)
DOI: 10.23919/ICINS.2017.7995646

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Hockauf R, Asadi E, Denkena B, Wurz MC (2019): „Hai-Tech“ spanend fertigen,  Werkstatt und Betrieb

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