Publikationen

Zeitschriften/Aufsätze (reviewed)

  • L. Diekmann, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz (2022): Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small voluminaJournal of Vacuum Science & Technology B
    DOI: 10.1116/6.0001991

Konferenz (reviewed)

  • A. Buchta, A. Kassner, J. Voß, J.Petring, L. Diekmann, F. Dencker, M. C. Wurz (2023): Novel Glass-Silicon Emitter Chip for Field Emission Applications2023 IEEE 36th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC)
    DOI: 10.1109/IVNC57695.2023.10188880

Konferenz

  • S. de Wall, A. Kassner, C. Künzler, F. Dencker, L. Diekmann, M.C. Wurz (2021): Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in AtominterferometernMikroSystemTechnik Kongress