phi - Produktionstechnik Hannover informiert:
Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT
Bei der Miniaturisierung von Quantensystemen spielt auch die Miniaturisierung der Peripherie eine große Rolle. Gerade bei Vakuumsystemen ist die Pumptechnik die platzeinnehmendste Komponente. Im Rahmen des Projekts „Innovative Vakuumtechnologie für Quantensensoren“ (InnoVaQ) entwickelt das IMPT deshalb eine miniaturisierte Ionengetterpumpe. Diese besteht aus drei wesentlichen Komponenten: einer Elektronenquelle (auch Emitter genannt), einem Elektronenkollektor und einer Getterelektrode. Die Elektronenquelle in Form von Arrays von Feldemittern (FEA, Field Emitter Array) werden üblicherweise mikrotechnologisch hergestellt – unter anderem mithilfe von reaktivem Ionentiefätzen, nasschemischem Ätzen oder Laserablation. Die Wissenschaftler:innen am IMPT verfolgen einen anderen Ansatz und stellen die Elektronenquelle aus Silizium mittels Trennschleifen her. Dieser Prozess wurde von der Leibniz Universität Hannover patentiert. Vorteilhaft dabei ist die Kosteneffizienz dieser Herstellungsmethode, sowie die Stabilität der Feldemitter aufgrund deren Größenordnung.
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Weitere Informationen zum Projekt InnoVaQ:
Projekt InnoVaQ - Innovative Vakuumtechnologie für Quantensensoren
