Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts

Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1998
Autorinnen/Autoren T. Hellmold, L.P. Ruhbach, J. Zeadan, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. ASPE Spring Topical Meet. 1998, Monterey, CA, USA