Applying Scanning Probe Microscopy to Ultraprecision-Machining
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 1997 |
| Autorinnen/Autoren | H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann |
| Veröffentlicht in | Proc. european Workshop on Microtechnology and Scanning Probe Microscopy 1997, Mainz |
