Dicing of Ultra-thin Silicon Wafers
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2002 |
| Autorinnen/Autoren | H.H. Gatzen, G. Günzel |
| Veröffentlicht in | Proc. ASPE 2002, 17th Ann. Meet. 2002, St. Louis, Missouri, USA, pp. 557-561 |
