Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Magnetic Properties of Thick Sputter Deposited SmCo-Films for MEMS-Applications

Magnetic Properties of Thick Sputter Deposited SmCo-Films for MEMS-Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Digest Intermag Europe 2002, Amsterdam, The Netherlands, GD05