Patterned Sputter Deposited SmCo-Films for MEMS Applications
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
| Jahr | 2002 |
| Autorinnen/Autoren | T. Budde, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Journal of Magnetism and Magn. Mat., Vol. 242-245 |
