Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
The Fabrication of Nano-Roughness Standards for the Calibration of Atomic Force Microscopes

The Fabrication of Nano-Roughness Standards for the Calibration of Atomic Force Microscopes

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2001
Autorinnen/Autoren H.H. Gatzen, C. Kourouklis
Veröffentlicht in Proc. ASPE 16th Ann. Meet. 2001, Virginia, USA, pp. 493-496