Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Dual Wheel Miniature Gang for Silicon Wafer Dicing

Dual Wheel Miniature Gang for Silicon Wafer Dicing

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2001
Autorinnen/Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach, M. Tricard
Veröffentlicht in Proc. euspen 2nd Intern. Conf. 2001, Turin, Italy, pp. 722-725