Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Technological Challenges in Ultraprecision Grinding of Flexural Microsensor

Technological Challenges in Ultraprecision Grinding of Flexural Microsensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autorinnen/Autoren H.H. Gatzen, M. Beck, J. Zeadan
Veröffentlicht in Proc. euspen 1st Int. Conf. 1999, Bremen, Germany, Vol. 1, pp. 538-541