Mikrostrukturierung durch Schleifen

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren H.-W. Hoffmeister, M. Hlavac, H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in Mikromechanische Produktionstechnik, Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1012. Shaker, Aachen, S. 39-54