Electroplated CoFe Thin Films for Electromagnetic Microactuators
Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
Jahr | 2006 |
Autoren | M. Bedenbecker, H.H. Gatzen |
Veröffentlicht in | MMM 2005, San Jose, CA, USA, Journal of Applied Physics, Vol. 99, 08M308 |