Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Electroplated CoFe Thin Films for Electromagnetic Microactuators

Electroplated CoFe Thin Films for Electromagnetic Microactuators

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2006
Autoren M. Bedenbecker, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in MMM 2005, San Jose, CA, USA, Journal of Applied Physics, Vol. 99, 08M308