Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Kerf Sidewall Grove Formation during Ductile Dicing of Ceramic Materials

Kerf Sidewall Grove Formation during Ductile Dicing of Ceramic Materials

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2005
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in Proc. ASPE 20th Ann. Meet. 2005, Norfolk, Virginia, USA, pp. 387-390