Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Microfabricated Inductive Linear Micro Positioning Sensor

Microfabricated Inductive Linear Micro Positioning Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2004
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 3rd IEEE Int. Conf. on sensors, IEEE Sensors 2004, Vienna, Austria, ISBN 0-7803-8692-2