Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Patterning Techniques for Thick SmCo Layers

Patterning Techniques for Thick SmCo Layers

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2004
Autorinnen/Autoren T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 18th International Workshop on High-Performance Magnets and Their Applications 2004, Annecy, France, pp. 805-816