Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Submicron coatings for micro-tribological applications

Submicron coatings for micro-tribological applications

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2004
Autoren R. Bandorf, H. Lüthje, K. Schiffmann, M. Beck, H.H. Gatzen, M. Schmidt, S. Büttgenbach, G. Bräuer
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 10, No. 3, pp. 223-226