An Investigation on Technologies to Fabricate Microcoils for Miniaturized Actuator Systems
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2004 |
| Autorinnen/Autoren | T. Kohlmeier, V. Seidemann, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol.10, No. 3, pp.175-185 |
