Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Plate Topography Influence on the Nanogrinding Process.

Plate Topography Influence on the Nanogrinding Process.

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autorinnen/Autoren H.H. Gatzen, H. Siekmann
Veröffentlicht in Proc. ASPE 14th Ann. Meet. Monterey, CA, USA, pp. 83-86