Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Investigation on a NiFe Alloy with a Coefficient of Thermal Expansion Matching the One of Silicon

Investigation on a NiFe Alloy with a Coefficient of Thermal Expansion Matching the One of Silicon

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2008
Autoren M. Bedenbecker, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in MMM 2007, Tampa, FL, USA, Journal of Applied Physics, Vol. 103, 07E731