Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Fabrication and Characterization of Microactuators with Discrete MSM Bulk Material

Fabrication and Characterization of Microactuators with Discrete MSM Bulk Material

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2008
Autoren B. Spasova, M.C. Wurz, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 11th Int. Conf. on new Actuators 2008, Bremen, Germany, pp. 713-716