Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Direct hot embossing of micro-elements by means of UV-structurable polyimide

Direct hot embossing of micro-elements by means of UV-structurable polyimide

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2014
Autoren M. Akin, M. Rezem, M. Rahlves, B. Roth, E. Reithmeier, L. Rissing
Veröffentlicht in MNE 2014, Lausanne, CH, September 22-26
DOI 10.13140/2.1.1919.1367