Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Thin Film Fabrication and System Integration Test Run for a Microactuator for a Tuneable Lens

Thin Film Fabrication and System Integration Test Run for a Microactuator for a Tuneable Lens

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2013
Autoren D. Hoheisel, L. Rissing
Veröffentlicht in Proc. SPIE Photonics West 2013, San Francisco, USA