Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Soft Magnetic Thin Films for MEMS Applications

Soft Magnetic Thin Films for MEMS Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren C. Ruffert, J. Chen, L. Rissing
Veröffentlicht in European Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes (Euromat 2011), Montpellier, France, 2011