Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Soft Magnetic Thin Films for MEMS Applications

Soft Magnetic Thin Films for MEMS Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autorinnen/Autoren C. Ruffert, J. Chen, L. Rissing
Veröffentlicht in European Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes (Euromat 2011), Montpellier, France, 2011