Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2011 |
| Autorinnen/Autoren | J. Chen, C. Ruffert, L. Rissing |
| Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011 |
