Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 2011 |
Autoren | J. Chen, C. Ruffert, L. Rissing |
Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011 |