Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Applying SU-8TM to the Fabrication of Micro Electro Discharge Machining Electrodes

Applying SU-8TM to the Fabrication of Micro Electro Discharge Machining Electrodes

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autorinnen/Autoren O. Traisigkhachol, H. Schmid, M. C. Wurz, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, Vol. 16, No. 8-9, pp. 1445-1450, 2010