Applying SU-8TM to the Fabrication of Micro Electro Discharge Machining Electrodes
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 2010 |
Autoren | O. Traisigkhachol, H. Schmid, M. C. Wurz, H.H. Gatzen |
Veröffentlicht in | Microsystem Technologies, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, Vol. 16, No. 8-9, pp. 1445-1450, 2010 |