Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Technology Development for the Thinning of a Slider with an Integrated Microactuator

Technology Development for the Thinning of a Slider with an Integrated Microactuator

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2009
Autorinnen/Autoren S. Cvetkovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. euspen 9th Int. Conf. 2009, San Sebastian, Spain, Vol. 2, pp. 455-458