Focused Ion Beam Core Hole Drilling for Stress Detection in Thin-films
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2009 |
| Autorinnen/Autoren | H. Gerdes, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York, Vol. 15, No. 1, pp. 151-153 |
