Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Evaluation of an Electromagnetic Microactuator using Scanning Hall Probe Microscopy Measurements

Evaluation of an Electromagnetic Microactuator using Scanning Hall Probe Microscopy Measurements

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2009
Autoren D. Dinulovic, H. Saalfeld, Z. Celinski, S. Field, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Journal of Applied Physics, AIP, Vol. 105, 07F119-1