Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen. Magnetic Micro Electro-mechanical Systems (MEMS) for Transducer Applications
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2009 |
| Autoren | H.H. Gatzen, C. Ruffert, M.C. Wurz, E. Flick |
| Veröffentlicht in | Proc. MST-Kongress 2009, Berlin, Deutschland, S.425-428 |
