Qualification of Membranes for MEMS Applications Applying Nanoindentation
| Jahr | 2010 |
| Autorinnen/Autoren | F. Pape, T. Creutzburg, and H.H Gatzen |
| Veröffentlicht in | Nanobrücken / Hysitron User Meeting, pp. 57-58, Saarbrücken, Germany, 2010 |
Letzte Änderung: 13.10.23
