Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
High Surface Qquality of Sintered Silicon Carbide by Chemical Mechanical Polishing

High Surface Qquality of Sintered Silicon Carbide by Chemical Mechanical Polishing

Kategorien Konferenz
Jahr 2015
Autoren E. Asadi, L. Rissing
Veröffentlicht in Proc. 15th euspen Int. Conf. Leuven, Belgium, pp. 41-42