Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten
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Konferenz |
Jahr | 2017 |
Autoren | Beringer S, Dinulovic D, Bengsch S, Haug M, Wurz MC |
Veröffentlicht in | MikroSystemTechnik Kongress 2017 · 23. – 25. Oktober 2017 in München (Seite 624-627) |
ISBN | 978-3-8007-4491-6 |