Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2017 |
| Autorinnen/Autoren | Pyatishev E, Wurz MC, Enns Y, Glukhovskoy A, Fischer EC, Odintsov A, Kleimanov R |
| Veröffentlicht in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München |
| ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
| Weitere Informationen | |
